硅片清洗：湿法化学清洗、超声清洗法、兆声清洗法、鼓泡清洗法、擦洗法、高压喷射法、离心喷射法、 RCA 标准清洗、等离子体清洗硅片腐蚀：利用氢氧化钠对多晶硅腐蚀作用，去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层，同时利用氢氧化钠对硅腐蚀的各向异性，争取反射率较低的表面织构硅片抛光：去除表面不规则性和杂质，以获得平坦光滑的表面，可以提高硅片的性能、可靠性和寿命。硅片涂覆：涂覆可以提供保护层，阻止外界环境因素如湿气、灰尘和化学物质对硅片的损害
运行功能可调，多模结合紧凑组装工艺，投建便捷模块动态设计，按需增配高效经济设备，降本增效浓度∶<25 %LEL（下爆限的25%以下）组分：氟化物、酸性气体、有机物、氮氧化物等行业：锂电池生产回收、新能源、电子、化学、石化等效率：可稳定保持在99%以上
1、安全：安全稳定可靠，配有阻火系统、防爆泄压系统、超温报警系统等；
2、智能：催化燃烧运行过程，全自动化PLC控制，方便、可靠；
3、能耗低：当VOCs浓度达到3500mg/m³时，净化装置中的加热室不需进行辅助加热（仅启动时加热15-30分钟），节约能耗费用；
4、高效：自主研发，高效净化，净化效率高达97%以上，特别适合处理连续排放的气体，适用范围广，VOCs净化效率高；
5、占地少：采用专业设计规格，结构紧凑，占用面积小；
6、行业：锂电池、新能源、电子、化学、石化等适用于汽车喷涂、包装印刷、电子、半导体、制药等行业；
7、寿命：设备正常工作达5年以上
催化燃烧CO设备是借助催化剂在低温(280-400℃)下，实现对可燃物的完全氧化，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化燃烧过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提高了反应速率，加快了反应的进行。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO₂和H₂O，同时放出大量热能，从而达到净化废气的目的。
产品特点：
1、操作温度较直接燃烧低；
2、相较于 TO，燃料消耗量少；
3、处理效率高可达99% 以上；
4、安全性高，能在低温下进行反应，无粉尘爆炸的危险。
