产品介绍
为满足太阳能、光能行业，半导体行业即CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化，硅烷废气可使用硅烷燃烧塔。
硅烷也称矽烷，化学分子式SiH4的一种化合物，该气体无色无臭，密度1.44克/升，熔点-185℃，沸点-111.8℃，不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃气体，在空气中无需加火源，硅烷就可以自然，生成二氧化硅和水，并放出大量的热量，可被一般氧化剂氧化。
应用领域
浓度
未填写
组分
未填写
行业
太阳能/光能行业、半导体行业、CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体
风量
未填写
工艺流程
产品特点
净化效率
可稳定保持在95%以上
设备寿命
设备正常工作达5年以上
运行费用
运行费用低、维护成本低
